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● 探针台——集样品温控、探针电测试、外部光学观察、腔室气氛环境控制为一体,外置电学 BNC 接口,为材料器件电学测试提供便捷精准的解决方案。
● 配气系统——根据气体方程式,仪器可自动计算配比浓度。采用国际通用的质量流量混合配气法,整个系统气路均采用防腐防吸附内表面抛光处理的不锈钢管或者聚四氟乙烯管,2~12通道可选
动态配气温控探针台测试系统
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● 探针台——集样品温控、探针电测试、外部光学观察、腔室气氛环境控制为一体,外置电学 BNC 接口,为材料器件电学测试提供便捷精准的解决方案。
● 配气系统——根据气体方程式,仪器可自动计算配比浓度。采用国际通用的质量流量混合配气法,整个系统气路均采用防腐防吸附内表面抛光处理的不锈钢管或者聚四氟乙烯管,2~12通道可选
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