mini温控探针台
原位电学测试平台，适用于半导体材料、器件变温下的电学测试，设计小巧，便携集成显微、光谱系统。
温度范围 -190℃～600℃，RT~1000℃
温度稳定性 ±0.05℃
气氛保护、真空
样品区 28x30mm
探针数量 4个
电学接头 BNC 三同轴BNC 可选
台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选
适配光学仪器 显微镜 光谱仪 铁电 介电 电化学工作站 磁场 电学源表 半导体分析仪 DLTS
真空温控探针台
实验室真空变温电学测试平台，外部可移动探针臂精准点针，为真空变温实验提供解决方案，同时可集成显微镜、光谱系统进行材料表征
温度范围 -190℃～400℃，RT~1000℃
温度稳定性 ±0.05℃
样品区 ∮26mm
探针数量 4~7个
电学接头 BNC 三同轴BNC 可选
台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选 探针臂行程 粗调 20mm*20mm,微调 10mm*10mm*3mm,精度＜10um
适配仪器 显微镜 光谱仪 铁电 介电 电化学工作站 磁场 电学源表 半导体分析仪 DLTS
高真空温控探针台
实验室高真空变温电学测试平台，外部可移动探针臂精准点针，为真空变温实验提供解决方案，同时可集成显微镜、光谱系统进行材料表征。
温度范围 -190℃～400℃，RT~1000℃
温度稳定性 ±0.05℃
样品区 28x30mm
探针数量 4~7个
电学接头 BNC 三同轴BNC 可选
台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选
探针臂行程 粗调 30mm*30mm,微调 20mm*20mm*10mm,精度＜10um
适配仪器 铁电 介电 电化学工作站 磁场 电学源表 半导体分析仪 DLTS
简易真空温控探针台
变温半导体测试平台，适用于半导体材料、器件在真空环境下的变温电学测试，可集成原位电学测试。
温度范围 -190℃～400℃，RT~1000℃
温度稳定性 ±0.05℃
样品区 ∮26mm
探针数量 4-7个
电学接头 BNC 三同轴BNC 可选
台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选
适配光学仪器 显微镜 光谱仪 铁电 介电 电化学工作站 磁场 电学源表 半导体分析仪 DLTS
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