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晶圆加热盘
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适用不同尺寸的晶圆测试,可用于各类探针台,温控同时进行电学测试。

温度范围 -120℃~400℃

温度稳定性 ±0.05℃

温度均匀性 ±2%

样品区 2寸~12寸

台面平整度 25um

台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选

适配仪器 手动探针台 半自动探针台 激光退火

适用领域 半导体 芯片 OLED光学变温 晶圆测试

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冷热平板
冷热平板
适用不同尺寸的样品测试,可用于各类大尺寸样品,温控同时进行光学电学测试。

温度范围 -120℃~400℃

温度稳定性 ±0.05℃

温度均匀性 ±2%

气氛保护、真空

样品区 2寸~12寸

台面平整度 25um

台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选

适配仪器 显微镜、光谱仪、手动探针台 半自动探针台 激光退火

适用领域 材料、化工、半导体 芯片 OLED光学变温 晶圆测试

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