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021-62412881
应用材料
NiAl 复合薄膜; GeTe 薄膜; Ni-Mn-Ga 薄膜 ;SiC 薄膜;Al2O3薄膜; TiN 薄膜; PZT 铁电材料; 掺 Ti 的 ZnSb 薄膜;金属 Co 薄膜; 形变记忆合金材料; 二氧化钒薄膜 ZrO2 薄膜;GST 相变存储薄膜 MgO薄膜 ;显示屏玻璃 ……
| 温度范围 | RT~1100℃ |
程序升温重复性 | <1%(10℃/s,中间段) |
相变温度测量精密度 | <±3% |
升温速率 | 50℃/s |
温度均匀性 | ≤1%设定温度 |
相变薄膜材料检测厚度下限 | 1×10-9m |