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温度范围
RT~1200℃
程序升温重复性/速率偏差
＜1.0%（10℃/s，中间段）
热膨胀系数测量精度
＜±4.5%
升温速度
50 ℃/s
温场一致性
≤1%
真空
5Pa（机械泵）
5*10-2pa（分子泵）
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