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设备型号
TCT-3RT
TCT-3
温度范围
室温
室温-500K
测量范围
0.1-10W/(m•K)
测量精度
≤±5%(Si衬底);≤±10%(其他衬底)
测试气氛
真空
样品尺寸
长:5mm-10mm;宽:5mm-10mm;薄膜厚度10nm~1000nm