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| 温度范围 | 常温(可选变温) |
| 吸附形式 | 机械固定 |
| 样品区 | 50x50mm,适用于尺寸在 1 mm至 50 mm之间的样品,最多可配备 4 个弹簧式样本夹 |
| 适用光路 | 反射（可选 透射/反射兼容） |
| 探针 | 铼钨材质（可选 镀金 铍铜） |
探针座 | X/Y/Z行程10mm，精度:10um |
| 探针接口 | BNC同轴*可选三同轴接口用于pA级测试 |
| 样品台面电位 | 电接地*可选电悬空（作背电极）*可选三同轴接口 |
| 尺寸重量 | 约：140 x 320 x 23 mm（不含样品的厚度）5kg |
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