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| 温度范围 | 常温(可选变温) |
| 吸附形式 | 磁力吸附底座(可选机械固定) |
| 样品区 | 2英寸ChuckXY微分头设计，行程25mm*25mm，精度2um |
| 适用光路 | 反射（可选 透射/反射兼容） |
| 探针 | 铼钨材质（可选 镀金 铍铜） |
探针座 | X/Y/Z行程12.5mm，精度:10um，精研燕尾副结构，阻尼胶消隙X-Y-Z，稳定无间隙 |
| 探针接口 | BNC同轴*可选三同轴接口用于pA级测试 |
| 样品台面电位 | 电接地*可选电悬空（作背电极）*可选三同轴接口 |
| 重量 | 10kg |
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