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HCP421V-ELP

椭偏仪冷热台
HCP421V-ELP

产品简介:

HCP421V-ELP专为椭圆偏振仪设计。其专用上盖支持70°的出入射角度,温度范围 :常压-190℃ ~ 600℃;真空:-190℃ ~ 400℃,同时允许光学观察和样品气体环境控制。上盖与底壳构成一个真空腔,也可往内充入氮气等保护气体,来防止样品在负温下结霜,或高温下氧化,支持快速升降温与稳态保持,适配动态原位分析需求。
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功能特点

HCP421V-ELP
适配各大主流品牌椭偏仪
角度窗口‌:支持椭偏仪75°光路构型‌(特殊需求可定制)
铂电阻测温 + PID人工智能算法,确保温度稳定性(±0.05℃)‌
应用场景
半导体工艺:晶圆镀膜过程的高低温特性分析
新能源材料:太阳能电池薄膜在不同温度下的光电性能变化
生物界面:研究蛋白质吸附层的温度依赖性行为

温控参数

温度范围

-190℃ ~ 400℃(真空)-190℃ ~ 600℃(气密)

传感器/温控方式

100Ω铂RTD / PID控制

加热/制冷速度

+0.01℃/min ~ +30℃/min 

温度显示分辨率

0.001℃

温度稳定性

±0.05℃(>25℃)  ±0.1℃(<25℃)

软件功能

可设温控速率,可设温控程序,可记录温控曲线

适用光路

斜反射光路 ,70°出入射角

加热区/样品区

26 mm

放样

水平抽出上盖后置入样品

安装方式

水平安装 



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