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气体制冷机

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气体制冷机

产品简介:

晶圆卡盘低温配套解决方案,适用于Instec冷热晶圆卡盘,为6-12寸不同尺寸卡盘提供降温,温度范围:-40℃;-60℃;-100℃;-120℃,给各类型样品如:芯片、模块、集成电路板、电子元器件等提供准确且快速的环境温度,替代液氮为卡盘提供快速降温,气体流量范围:5~300m3/h,为产品电性能、可靠性、老化等测试提供冷源;
气体制冷机主要由制冷系统 、换热系统 、 控制系统 、箱体等组成 ,制冷系统采用蒸汽压缩式制冷,压缩机及主要制冷部件均采用国际知名品牌。换热系统包括换热器、连接管路、保温等组成 。控制系统采用西门子 PLC, 温度采用 PID 控制技术, 高清触摸屏显示,设有多项保护功能,确保设备安全运行 。通过机组自身的制冷,将进入装置内的干燥气体进行降温及恒温处理,满足工艺条件要求。
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功能特点

气体制冷机
一体式结构:在工厂已将系统整体组装完毕,用户只需要将电源 、气体管路 、冷却水管路安装完毕即可开机运行;
换热系统 :蒸发器采用板式换热器部分产品可能会采用翅片管式换热器,换热效率高,结构紧凑,耐压高,承压能力大于 2.5MPa;
控制重复性:基于动态控制系统, 每次都能实现一致的控制结果,大大提升产品生产的稳定性。

技术参数

CDA气体制冷机的核心部件‌包括以下几个部分:

‌压缩机‌:将制冷剂压缩成高温高压的气态,常见的压缩机类型有活塞式、涡旋式、螺杆式等‌;

‌冷凝器‌:将高温高压的气态制冷剂冷却成液态;

‌节流装置‌:如膨胀阀或毛细管,起到降压和降温的作用‌;

‌辅助部件‌:如油分离器、干燥过滤器、电磁阀等,保证设备的正常运行‌;

控制面板:7英寸彩色触摸屏,英文显示,操作简便、显示直观,可显示、记录温度曲线和测试数据。

现场安装条件:

电源:

电源要求 电压 100V-230V (± 10%)

 频率 50Hz-60Hz

 功率 3000VA

气源要求 

流量要求 490L/min @ 标准大气压下

 露点要求 -20℃

 压力要求 ≥0.7Mpa

 气源温度 5ºC->30ºC

 空气品质 无油,满足ISO 8573.1 Class 1.3.1

 气管连接头 10mm 快插头

安装环境 

平面(非倾斜),足够承重平台

 机械振动小

 离厂务近

 温度范围:18ºC->28ºC

 相对湿度:20%->60%

 不能暴露在腐蚀气体或阳光直射环境中



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