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概伦电子 FS-Pro

半导体分析仪

产品简介：

FS-Pro半导体参数测试系统是一款功能多样、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备。
在一个系统中实现了电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测量、高速波形发生与釆集以及低频噪声测试能力，几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在FS-Pro测试系统中完成。
强大的参数测试分析能力加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程，并可与概伦9812系列噪声测试系统无缝集成。
釆用工业通用的PXI模块化硬件架构，系统配置灵活，扩展性强。
内置专业测试软件LabExpress提供丰富的测试预设和强大的数据处理功能。
LabExpress软件同时支持自动化量测和并行量测，可进一步提升测试效率。
广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试、器件可靠性等研究领域。产品咨询

功能特点

一体化设备：单机可采集高精度IV、CV、脉冲IV
高速波形和瞬态IV采样及1/f噪声
功能强大：宽电压电流输出范围、高精度
支持高速采样时域信号采集和任意线性波形生成
简单易用：内置专业LabExpress测量控制分析软件
无需复杂编程可实现数据测量设置、执行和数据分析
源表：可用作981X系列内部SMU模块
无缝集成到981X系列噪声测试系统

技术参数

高分辨率	30fA 精度，0.1fA 灵敏度
宽量程	最高至 200V，1A 直流电流
内置脉冲测试	±200V, 最小脉宽 50usHz
噪声分辨率	2e10-28A2/Hz
系统噪声带宽	0.001Hz - 100kHz
下限测试频率	0.001Hz
下限测试阻抗	500Ω 测试速度:
内置 CV 测试范围	10kHz
内置 CV 测试精度	100fF
扩展性	> 100 并行测试通道

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