上海恒商精密仪器有限公司专业选型指导售后全程护航
产品中心

不止是卖仪器,更是您的实验室伙伴

产品中心

TP102V-MPS

XYZ模块化变温探针台
TP102V-MPS

产品简介:

TP102V-MPS Instec 的真空型 mini 台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台,涵盖多型号、多温度范围,同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制,探针台上盖与底壳构成一个密封腔,亦可内充入氮气等保护气体,来减少样品在负温下结霜,或高温下氧化。
产品咨询

功能特点

TP102V-MPS
温控范围:支持-40℃~160℃(视型号而定),程序化控温,兼容半导体/光电器件测试需求,多尺寸适配:兼容10mm~40mm晶圆及各类微型器件,腔体可抽真空或充入保护气体
操控准确:四探针独立调节,支持外部快速定位,减少腔体开启频次
智能集成:提供PC软件及SDK,无缝对接光学系统/实验室自动化设备。
典型应用:低温/变温环境下的电学特性测试;光电材料与器件表征;科研级真空/惰性气氛实验。

温控参数

温度范围

-20℃ ~ 120℃ 标配,-40℃ ~ 160℃ 可选

传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制(含LVDC降噪电源)
加热/制冷速度+0.01℃/min ~ +50℃/min (0℃时)
温度显示分辨率0.001℃
温度稳定性±0.05℃
软件功能可设温控速率,可设温控程序,可记录温控曲线
加热区/样品区40 mm x 40 mm
适用光路反射(可选择透射/反射兼容)
探针
铼钨材质(可选 镀金 铍铜)

探针座

可从外部XYZ移动的探针臂 粗调模式+微调模式,微调行程X:10mm Y:10mm Z:3mm

点针从外部移动点针,每个探针座都可点到样品区上任意位置
探针接口

同轴BNC*可选三同轴接口用于pA级测试 *可增设腔内接线柱(样品接电引线

样品台面电位电接地*可选电悬空(作背电极)*可选三同轴接口


立即咨询,获取专属定制方案