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| 温度范围 | -190℃~400℃ |
| 传感器/温控方式 | 100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源） |
| 加热/制冷速度 | +0.01℃/min ~ +30℃/min |
| 温度显示分辨率 | 0.001℃ |
| 温度稳定性 | ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃） |
| 软件功能 | 可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线 |
| 加热区/样品区 | Φ26mm |
| 适用光路 | 反射（可选择透射/反射兼容） |
| 探针 | 铼钨材质（可选 镀金 铍铜） |
探针座 | 可从外部XYZ移动的探针臂 |
| 点针 | 从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置 |
| 探针接口 | BNC或SMA*可选三同轴接口用于pA级测试 *可增设腔内接线柱（样品接电引线） |
| 样品台面电位 | 电接地*可选电悬空（作背电极）*可选三同轴接口 |
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