上海恒商精密仪器有限公司
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XYZ模块化变温探针台
HCP421V-MPS
XYZ模块化变温探针台
-190℃~400℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）
模块化设计可自由组合升级为8个独立探针
适用 10 mm ~26 mm 晶圆和器件
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HP1000V-MPS
XYZ模块化变温探针台
RT~1000℃ 可编程控温
模块化设计可自由组合升级为8个独立探针
可选三同轴接口用于pA级测试
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TP102V-MPS
XYZ模块化变温探针台
-40℃~160℃ 可编程控温（无需制冷耗材）
实现样品在开放式 / 气密 / 真空环境下的变温光学
独立的四个探针 可从设备外部移动探针进行点针
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HCP402V-MPS
XYZ模块化变温探针台
-190℃~400℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）
模块化设计可自由组合升级为8个独立探针
适用 10 mm ~50 mm 晶圆和器件
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