上海恒商精密仪器有限公司
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电学变温类
HCP621G-PM
微型变温探针台
-190℃~400℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）
模块化设计可自由组合升级为8个独立探针
适用 10 mm ~26 mm 晶圆和器件
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PS系列冷热探针台
射频变温探针台
-190℃~400℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）
探针外部移动、能胜任低温、高温易氧化样品的电测试
适用于10mm~26mm晶圆/芯片在极端温度下的电学特性分析
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HCP421V-PM
微型变温探针台
-190℃~400℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）
支持定制化温区组合（如-190°C~400°C或常温~1000°C）满足不同实验场景需求
温控系统与探针扫描模块联动，直接关联温度变化与材料性能（如形变、蠕变速率、电阻）
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HCP421V-MPS
XYZ模块化变温探针台
-190℃~400℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）
模块化设计可自由组合升级为8个独立探针
适用 10 mm ~26 mm 晶圆和器件
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